Системы измерения свойств в зависимости от температуры : Температурно-программируемый анализатор газов методом термодесорбции TDS-M202R
Позволяет достичь заданной температуры за короткое время. Возможно проведения масс- спектрального анализа до 200 а.е.м
Эта система может измерять газ, десорбированный из образца, с помощью квадрупольного массового фильтра после нагревания до заданной температуры.
Конструктивные особенности
• Возможность проведения масс-спектральных измерений в высоком вакууме порядка 10-5 Па
• Широкий диапазон настроек нагрева от высокой скорости нагрева до низкой скорости нагрева, многоступенчатый нагрев и циклический нагрев
• При использовании кварцевой реакционной трубки, использующей метод холодной стенки, при нагреве инфракрасной лампой почти не выделяется других газов.
• Простота сбора данных с использованием персонального компьютера через порт RS-232C (опция)
Области применения
• Оценка различных вакуумных материалов, таких как вакуумная смазка и уплотнительные кольца
• Оценка полупроводниковых пластин и чипов
• Анализ небольшого количеств газов, десорбированных из сплавов и керамики и т. д.
Технические характеристики
|
Диапазон температур |
20 ¸ 1000 ° C |
|
Предельный вакуум |
Порядка 10-5 Па (после 8- часового отжига) |
|
Размер образца (мм) |
20 × толщ. 2 |
Диапазон измерения массы |
1 ¸ 200 а.е.м. |
|
|
Среда: |
воздух/вакуум |
Аварийные блокировки |
При отключении охлаждающей воды • При возрастании тока утечки (ELB) |
|
|
Способ нагрева |
Параболоидное цилиндрическое зеркало с инфракрасным трубчатым нагревателем |
Чувствительность |
4А / Па |
|
|
Датчик температуры |
Термопара (JIS "K") |
Разрешение M/ΔM= |
1M (10% P.H.) |
